阳极氧化制备铝磁性膜的研究
Investigation of anodizing technology for aluminium magnetic films作者机构：清华大学材料科学与工程系
出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))
年 卷 期：1996年第36卷第12期
页 面：104-108页
核心收录：
学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
摘 要：对用阳极氧化技术制备铝磁性膜进行了实验研究；用扫描电子显微镜、Ｘ射线光电子谱法、卢瑟福背散射谱法等表面分析手段对Ａｌ磁性膜的形貌、大小、厚度以及磁性膜中的元素分布作了分析。实验表明，Ａｌ以Ａｌ２Ｏ３形态存在，Ｃｏ离子主要沉积于铝膜微孔底部。
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