全硅大断面脊形光波导传播特性的理论分析及实验结果
Theoretical Analysis and Experimental Results for the Performance of All-Silicon Large Cross Section Optical Waveguides作者机构：天津大学电子工程系
出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)
年 卷 期：1994年第14卷第1期
页 面：91-95页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学]
基 金：天津市自然科学基金
摘 要：对当前硅光集成的研究焦点－制备大断面单模脊形光波导的单模条件，用有效折射率法进行分析，也计算了传播常数等性能参数。结果表明，有效折射率法有方法简明、结论确切的优点。它能同时给出单模区、多模区及截止区的条件，已有效指导了ＳＩＭＯＸ及ｎ／ｎ＋外延型两种单模脊形硅光波导的制备。文中最后给出了实验结果。
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