原子制造过程的可视化与原位检测

作     者：李陈 叶茂 尹奎波 徐涛 孙立涛 

作者机构：东南大学集成电路学院 

出 版 物：《沈阳工业大学学报》 (Journal of Shenyang University of Technology)

年 卷 期：2024年第5期

页      面：702-709页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 080501[工学-材料物理与化学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(12234005 T2321002) 

主　　题：原子制造 可视化 原子尺度加工 原位检测 原位透射电子显微镜 纳米材料 实时观察 

摘      要：原子制造是指将能量直接作用于原子，对原子进行精准可控去除、增加等操作，从而调控材料结构和性质的技术。为实现原子制造的精准性和可控性，跨尺度的实时观察与检测势在必行。原位透射电子显微技术不仅能在原子尺度下实时研究纳米材料结构与性质之间的关系，而且可以构建原子级器件并实现其性能的原位检测。简要综述了原位透射电子显微技术在纳米/原子精度的加工、器件构建及原位检测方面取得的重要进展，提出了当前原位透射电子显微技术在原子制造过程的可视化与原位检测领域面临的挑战和未来的发展方向。