高反镜表面颗粒物在连续激光辐照下的吸收特性

作     者：江文昌 史建亮 杨欣欣 任戈 JIANG Wenchang;SHI Jianliang;YANG Xinxin;REN Ge

作者机构：中国科学院光场调控科学技术全国重点实验室成都610209 中国科学院光束控制实验室成都610209 中国科学院光电技术研究所成都610209 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2024年第45卷第4期

页      面：600-605页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金项目(11804339) 

主　　题：颗粒污染物 连续激光 红外热像仪 有限元 吸收损耗 

摘      要：光学元件表面吸收损耗是衡量光学元件光学性能的重要指标,颗粒污染物附着通常会引起光学元件表面吸收损耗大幅增加。基于红外热像仪温升检测方法,研究了几种典型颗粒污染物对高反镜表面吸收损耗的影响,并根据颗粒污染物分布特点建立阶梯式分布吸收和离散分布吸收模型。考虑测温精度受红外热像仪空间分辨率的影响,提取单像素点内温升数据进行有限元分析,获取精度与单像素点相当的镀膜元件表面局部吸收损耗,结合显微镜下扫描结果进一步优化仿真模型,从而获得了薄膜元件表面颗粒污染物的吸收损耗。