可实现大质量数检测的四极杆质谱计的关键参数设计及仿真研究

作     者：郭琦 韩琰 袁翠平 孙伟 孙立臣 孟冬辉 闫荣鑫 

作者机构：北京卫星环境工程研究所 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2024年

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：装备发展部测试仪器**研制项目(2006ZCTF0039) 

主　　题：大质量数 四极质谱计 机电设计 仿真计算 气体分析 

摘      要：随着我国科技的进步、技术的发展，特殊工程密闭环境内的气体成分需要精确检测，被检测对象除了小质量数（200amu以内）气体成分之外，还包含重要的有机大质量数成分；气体成分最有效的检测仪器之一就是四极质谱计，我国质谱计研发单位大多数都集中在小质量数产品的设计生产，可测大质量数（可达1000amu）的四极质谱计设计报道很少；文章设计了四极质谱计杆长、场半径、入口孔径、装配精度等机械参数，以及射频电压、直流电压等电参数，结合机械参数和电参数对离子的运动轨迹、离子的入射能量、离子的通过率、质谱计的分辨率等指标参数进行了模拟仿真计算，设计了质量数检测上限可达1000amu的可测大质量数四极质谱计，能满足特殊领域密闭空间的应用需求。