阴极弧离子镀AlCrN涂层高温氧化后XPS分析

作     者：付贵忠 孔德军 王文昌 张垒 FU Gui-zhong;KONG De-jun;WANG Wen-chang;ZHANG Lei

作者机构：常州大学机械工程学院江苏常州213016 江苏省材料表面科学与技术重点实验室常州大学江苏常州213164 常州大学石油化工学院江苏常州213164 

出 版 物：《材料热处理学报》 (Transactions of Materials and Heat Treatment)

年 卷 期：2015年第36卷第1期

页      面：138-142页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：江苏省科技支撑计划(工业)(BE2012066) 中国学位与研究生教育学会研究课题(C1-2013Y07-051) 

主　　题：阴极弧离子镀 AlCrN涂层 高温氧化 物相组成 光电子能谱分析 

摘      要：采用阴极弧离子镀方法在Ti C基金属陶瓷刀具表面沉积了Al Cr N涂层,进行了900℃下2 h高温氧化试验。通过SEM、EDS、XRD、XPS等手段分析了Al Cr N涂层高温氧化前后表面形貌、元素组成、物相组成及元素结合能,并讨论了Al Cr N涂层高温氧化及失效机理。结果表明,氧化前Al Cr N涂层由Al N、Cr N和Cr2N物相组成,其中Cr N表现出(200)的择优取向,氧化后其物相转变为抗高温的Al2O3、Cr3O4和Ti4O3氧化物;氧化前Al Cr N涂层中Al和N以Al—N键、Cr和N以Cr—N键存在,氧化后Al与O以Al—O键、Cr与O以Cr—O键方式存在,在涂层-基体结合界面处形成了致密的扩散层。