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元素有机聚合物及其涂料

出 版 物:《涂料技术与文摘》 (Coatings Technology & Abstracts)

年 卷 期:2006年第27卷第10期

页      面:31-32页

学科分类:081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 

主  题:元素有机聚合物 涂料组合物 聚硅氧烷组合物 硅氧烷树脂 半导体装置 防虫方法 外力作用 防反射 

摘      要:用于半导体装置的防反射涂料组合物的倍半硅氧烷树脂;防虫方法及所用聚硅氧烷组合物;具有好的使用性和防污性的甲基硅氮烷聚合物或低聚物涂料;基材在外力作用下形变后恢复性好的涂料;

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