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芯片测试厂房液氮供应系统设计要点分析

Analysis of Design Points for Liquid Nitrogen Supply System in Chip Testing Building

作     者：商丹 徐立 Shang Dan;Xu Li

作者机构：信息产业电子第十一设计研究院科技工厂股份有限公司四川成都610000 

出 版 物：《化工设计》 (Chemical Engineering Design)

年 卷 期：2024年第34卷第4期

页      面：31-34,1页

学科分类：08[工学] 

主　　题：芯片低温测试 液氮系统 系统设计 

摘      要：在芯片低温测试过程中,需要用到液氮来进行变温测试。由于测试过程对液氮的流量、压力要求较为严苛,因此,整个液氮供应系统应该从设计上严格把控。本文针对目前芯片测试厂房中的液氮供应系统设计、设备选型、选材等方面进行简要探讨。

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