亚波长光栅反射特性研究
Research on Reflection Characteristics of Sub-Wavelength Gratings作者机构：国防科技大学光电科学与工程学院湖南长沙410073
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2009年第29卷第12期
页 面：3272-3276页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
主 题：光栅 反射特性 时域有限差分 亚波长光栅 电子束直写 反应离子刻蚀
摘 要：亚波长光栅具有特殊的反射特性,可以用于各种光器件的设计。利用时域有限差分方法(FDTD)和散射矩阵方法计算了亚波长介质光栅的能带结构、本征模式以及反射谱。模拟结果显示:光栅反射谱中的共振峰是由光栅的泄漏模式引起的;在正入射和斜入射条件下,外部入射场所能激励的光栅的模式不同;通过控制光栅本征泄漏模的频率和Q值可以控制反射谱线型。实验利用电子束直写以及反应离子刻蚀等方法在绝缘体上硅(SOI)晶圆上制备出亚波长光栅结构,实验测量所得光栅的反射谱线型与模拟结果吻合得很好。
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