调制度测量轮廓术在复杂面形测量中的应用

作     者：邵双运 苏显渝 张启灿 王华 

作者机构：四川大学光电科学技术系 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2004年第24卷第12期

页      面：1623-1628页

核心收录：

学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 081002[工学-信号与信息处理] 0702[理学-物理学] 

主　　题：傅里叶光学 光学三维传感 调制度测量轮廓术 傅里叶变换 调制度焦深 

摘      要：调制度测量轮廓术(MMP)是将物体的高度信息编码在投影到待测物面上的正弦条纹的调制度信息中,可以实现对物体的垂直测量,特别适合测量表面有高度剧烈变化或不连续区域的物体。探讨了基于傅里叶变换的调制度测量轮廓术在复杂面形测量中的应用,提出了调制度焦深的概念并详细分析了调制度焦深对测量的影响,以调制度焦深为基础从测量系统设计的角度提出了提高测量精度的具体措施,给出了实验系统设计方案,讨论了影响测量精度的几个实际问题及解决方案。对复杂面形和深孔物体的实测结果表明,基于傅里叶变换的调制度测量轮廓术测量复杂面形物体可以达到较高的测量精度。