光学压力计的标定及应用

作     者：聂中梁 王新广 王进 杨远超 胡常乐 孙羽 胡水明 NIE Zhongliang;WANG Xinguang;WANG Jin;YANG Yuanchao;HU Changle;SUN Yu;HU Shuiming

作者机构：中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心合肥230026 中国科学技术大学化学物理系合肥230026 深圳综合粒子设施研究院广东深圳518107 中国计量科学研究院北京100029 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2024年第30卷第5期

页      面：467-472页

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：中国科学院先导科技专项(XDC07010000) 中央高校基本科研业务费专项资金(WK9990000105) 

主　　题：真空计量 压力计 Fabry-Perot腔 气体折射率 

摘      要：搭建了基于光学谐振腔的气体压力测量装置,即光学压力计。使用测量不确定度为0.001 1%(k=1)的活塞压力计,对两套独立的光学压力计进行标定,并对光学压力计的测量不确定度进行了系统的分析与评定,最终得到其压力测量的合成标准不确定度。利用该光学压力计对一台标称测量不确定度为0.025%的商用电容薄膜真空计进行多次校准。结果表明,在校准后的1年时间内,该薄膜压力计电容薄膜真空计的测量不确定度可达0.003%,大幅度提高了该商用电容薄膜真空计的测量不确定度。该光学压力计具有较好的长期稳定性,可应用于校准各种商用压力计,提高实际测量不确定度。