纳米样板的制备及其精度分析
Fabrication and Precision Analysis of Nano-scale Sample-plate作者机构：西安交通大学精密工程研究所陕西西安710049
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2004年第25卷第1期
页 面：6-10,42页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
基 金：高等学校骨干教师资助计划项目 国家教育部博士点基金项目(1999069821)
主 题：计量学 原子力显微镜 纳米样板 探针诱导阳极氧化 线宽 直线度 平行度 不确定度
摘 要：介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等;用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板,并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析。
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