LC谐振式压力传感器的高温关键参数研究

作     者：郑庭丽 赵卫军 梁庭 洪应平 任重 李赛男 熊继军 ZHENG Tingli;ZHAO Weijun;LIANG Ting;HONG Yingping;REN Zhong;LI Sainan;XIONG Jijun

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 北京宇航系统工程研究所北京100000 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2014年第27卷第10期

页      面：1332-1335页

核心收录：

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家973项目(2010CB334703) 国家自然科学基金重点项目(61335008) 

主　　题：高温压力传感器 LTCC 电感 电容 

摘      要：无线无源高温压力传感器在高温、高压等恶劣环境中应用日益广泛.其耐高温性能已成为衡量传感器的-项最基本且重要的指标. 利用低温共烧陶瓷LTCC（Low Temperature Co-Fired Ceramic）技术.分别设计和制作了陶瓷基片上电感及电容器件.并进行高温特性测试.通过讨论和分析确定了造成电感和电容随温度变化的原因. 测试结果表明：在100℃-500 ℃温度范围内.电感L基本保持不变.等效串联电阻R 增大了2.7倍.电容C增大了5.3%.从而LC谐振传感器的品质因数Q 减小了72.8%. 该测试及分析对高温环境下基于LC谐振式压力传感器的优化设计具有重要的指导意义.