张应力对TbDy-Fe RGMF磁性能的影响

作     者：郑运相 张鲁钟 刘全洲 周白杨 Zheng Yunxiang;Zhang Luzhong;Liu Quanzhou;Zhou Baiyang

作者机构：福州大学材料科学与工程学院物理气相沉积实验中心福州350108 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2016年第36卷第3期

页      面：372-376页

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金项目(11104031) 

主　　题：TbDy-Fe稀土超磁致伸缩薄膜 张应力 离子束溅射沉积 磁性能 微磁学模拟 

摘      要：通过离子束溅射沉积法制备了受不同张应力作用的TbDy-Fe稀土超磁致伸缩薄膜样品。借助LK-G150激光微位移传感器和交变梯度磁强计分别测试薄膜的悬臂梁自由端偏转量与磁滞回线,通过微磁学模拟软件OOMMF模拟计算不同张应力作用下薄膜的磁性能;研究张应力对薄膜磁致伸缩性能及软磁性能的影响。结果表明:张应力能显著提高薄膜的低场磁敏性,但其饱和磁致伸缩性能有所降低;模拟计算结果与实验结果均表明:随着薄膜所受张应力的增加,薄膜的矫顽力逐渐减小,软磁性能得到了改善。