离子镀铝工艺研究
Study on Aluminium Ion Plating作者机构：西北有色金属研究院宝鸡721014
出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)
年 卷 期：1991年第20卷第6期
页 面：67-71页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：采用空心阴极离子镀设备,在Ti22合金螺栓上进行了离子气相沉积铝的研究。通过对枪功率、工件负偏压、烘烤温度、沉积真空度等工艺参数的研究以及对铝涂层结合力、纯度、厚度等检验,确定了Ti22螺栓镀铝工艺:使用石墨坩埚,在氩分压为(5—8)×10^(-2)pa、工件烘烤温度300℃、枪功率17—20kW、负偏压50V的条件下,可以镀制出与Ti22基材结合良好、纯度高于99%、均匀、光滑的铝涂层。
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