量热式集成传感器的热电模拟及实验研究
Heat-Electricity Analogy and Experimental Investigation of Thermal Integrated Sensors作者机构：东南大学微电子中心南京210018
出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)
年 卷 期：1991年第12卷第10期
页 面：625-632页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：本文把最热式传感器中的热传输看成行波,利用热电模拟及传输线分析方法,计算了热传输函数并得到了实验的验证,在此基础上进一步计算了传感器的增益稳定裕度、相对不平衡度和闭环增益等性能,为传感器的设计提供了重要的依据.该方法具有准确、直观、求解方便等优点.最后本文给出了上述理论计算为基础设计的集成温度传感器的实验结果.
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