高速垂直腔面发射激光器热管理研究进展

作     者：孙家辉 田思聪 Ahamed Mansoor 王宇昊 潘绍驰 徐汉阳 佟存柱 王立军 Dieter Bimberg Sun Jiahui;Tian Sicong;Ahamed Mansoor;Wang Yuhao;Pan Shaochi;Xu Hanyang;Tong Cunzhu;Wang Lijun;Dieter Bimberg

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所Bimberg中德绿色光子学研究中心吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室吉林长春130033 柏林工业大学固体物理研究所纳米光学中心德国柏林D-10623 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2024年第61卷第15期

页      面：14-22页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家重点研发计划(2021YFB2801000,2018YFB2201000) 国家自然科学基金(62174159,62061136010,62121005) 国家自然基金委与德国研究联合会-中德中心国际合作项目(M0386) 吉林省科技发展计划(20210402055GH,2023SYHZ0024) 在渝本科高校与中国科学院所属院所合作项目(HZ2021007) 中国科学院青年创新促进会优秀会员(Y2022067) 

主　　题：高速垂直腔面发射激光器 多孔孔径垂直腔面发射激光器 热效应 调制带宽 传输速率 

摘      要：垂直腔面发射激光器(VCSEL)与并行光传输、光互连等领域的数据传输需求相契合,能够应用于单通道和并行光互联网络,是宽带以太网、高速数据通信中关键的光电子器件。而热效应严重限制了VCSEL的带宽等高速调制性能并影响输出的稳定性,通过优化电流分布、调整氧化孔径、减薄衬底、使用高热导率的材料、键合热沉等方式有助于VCSEL的热耗散。本文综述了VCSEL热管理等方面的研究进展,这对于提升其高速调制性能至关重要,最后介绍了本课题组最新设计的具有高效散热结构的高速多孔孔径VCSEL。