LaTiO_3薄膜的光学及激光损伤特性

作     者：徐均琪 杭良毅 苏俊宏 程耀进 Xu Junqi;Hang Liangyi;Su Junhong;Cheng Yaojin

作者机构：西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021 微光夜视技术重点实验室西安710065 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2015年第35卷第9期

页      面：1124-1129页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 0817[工学-化学工程与技术] 0806[工学-冶金工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：科技部国际合作资助项目(2013DFR70620) 国家自然科学基金资助项目(61378050) 

主　　题：薄膜 LaTiO3 折射率 激光损伤阈值 

摘      要：研究了工艺条件（沉积温度、真空度、蒸发束流）对LaTiO3薄膜光学和激光损伤特性的影响。采用椭偏法测量了薄膜的光学常数,分析了不同工艺条件下制备薄膜的折射率和消光系数,得出工艺参数与薄膜光学性能的相互关系。研究结果表明,当沉积温度从室温（未加热）升高到220℃,所制备薄膜的折射率从1.9334增大到1.9644（d光）。当真空度从6.5×10-3（未充O2）降低到2.0×10-2Pa时,薄膜的折射率从1.9726下降到1.9268。随着束流从75增加到140 m A,薄膜的折射率从1.9337到1.9548略微有所增加。在所研究的工艺参数范围内,薄膜的折射率基本稳定,消光系数均小于1.74×10-3,尤其当沉积速率低于0.44 nm/s时,所制备薄膜的消光系数优于10-6。LaTiO3薄膜的激光损伤形貌随制备工艺而不同,其激光损伤阈值约为16.2~18.8 J/cm2（1064 nm,10 ns）。