EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试
CCD camera in the EUV spectral region and its spatial resolution test作者机构：中国科学院国家天文台
出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)
年 卷 期：2005年第13卷第Z1期
页 面：56-59页
核心收录：
学科分类：1304[艺术学-美术学] 13[艺术学] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家自然科学基金重点支助项目(No.10333010)
摘 要：研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试。EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14μm,像元数2 048×2 048。在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm。
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