纯位相片光学互连实验研究
Experimente of Optical Interconnection with Phase Masks作者机构：中国科技大学研究生院 中国科学院微电子研究中心
出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)
年 卷 期：1992年第3卷第5期
页 面：272-277页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：本文给出一维互连系统中纯位相片计算结果,介绍用反应离子刻蚀制备纯位相片的方法以及用此位相片进行一维互连的实验结果。实验结果与理论计算相符。
维普期刊数据库
同方期刊数据库