GeSi/Si多量子阱红外探测器波导结构的理论计算
CALCULATION OF Ge_xSi_(1-x)/Si MQW PHOTODETECTOR WAVEGUIDE STRUCTURE作者机构:中国科学院半导体研究所北京100083
出 版 物:《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)
年 卷 期:1997年第26卷第5期
页 面:408-412页
核心收录:
学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要:本文采用传输矩阵的方法计算了GexSi1-x/Si量子阱红外探测器结构参量对多量子阱波导结构模场分布,光场限制因子和有效吸收系数的影响,并给出了优化设计的结果.