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GeSi/Si多量子阱红外探测器波导结构的理论计算

CALCULATION OF Ge_xSi_(1-x)/Si MQW PHOTODETECTOR WAVEGUIDE STRUCTURE

作     者:朱育清 杨沁清 王启明 

作者机构:中国科学院半导体研究所北京100083 

出 版 物:《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期:1997年第26卷第5期

页      面:408-412页

核心收录:

学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

主  题:硅/锗 多量子阱 红外探测器 光波导 传输矩阵 

摘      要:本文采用传输矩阵的方法计算了GexSi1-x/Si量子阱红外探测器结构参量对多量子阱波导结构模场分布,光场限制因子和有效吸收系数的影响,并给出了优化设计的结果.

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