基于振频逆解算的高抗振移相干涉仪系统设计
Design of High Vibration Resistance Phase-Shifting Interferometer System Based on Inverse Vibration Frequency Solution作者机构：上海星庆光学仪器有限公司上海
出 版 物：《图像与信号处理》 (Journal of Image and Signal Processing)
年 卷 期：2024年第13卷第3期
页 面：281-288页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：本文设计并研制了一款具有高抗振性功能的移相式激光面型干涉仪系统。该系统通过快速获取连续非线性移相后获取样件干涉图组,并对其进行振频逆解算分析,自动判断干涉条纹图受振动干扰情况,筛选出受振动干扰相对较小的高质量干涉图组,可得到高抗振的稳定测量结果,从而实现激光移相干涉仪系统的抗振能力增强,极大改善干涉仪测量准确度与效率。
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