微电子技术在MEMS系统中的应用
Application of Microelectronics Technology in MEMS Systems作者机构：江苏省如皋第一中等专业学校江苏226500
出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)
年 卷 期：2024年第41卷第6期
页 面：296-297页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：阐述微电子技术具备性能好、精度高、能耗低的特点,探讨其在MEMS中的应用,包括在刻蚀技术、扩散技术、沉淀技术、固相键合技术、MEMS技术、LIGA工艺中的应用。
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