体声波双工器中滤波器的参数化设计方法
Parametric design method of Tx and Rx filter in bulk acoustic wave duplexer作者机构:西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044
出 版 物:《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)
年 卷 期:2015年第27卷第12期
页 面:217-221页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
基 金:国家自然科学基金项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重大基金项目(2014ZA001) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01) 西南科技大学研究生创新基金项目(15ycx122 15ycx123 15ycx125) 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04) 中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金项目(S20141203)
主 题:体声波 双工器 滤波器 参数化设计 Mason模型 谐振区面积
摘 要:Tx与Rx滤波器,作为体声波(BAW)双工器的关键部件,其中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的谐振区面积会影响滤波器的插入损耗和带外抑制这两个重要指标。由于这两个指标是相互制约的,在设计时往往需要折衷考虑,这使得各FBAR单元的谐振区面积设计成为BAW双工器设计的难点之一。为了解决这一问题,提出了一种Tx与Rx滤波器的参数化设计方法。在ADS软件中以FBAR的Mason模型为基础构建了梯形拓扑结构的滤波器电路模型。设置其中各串联FBAR的谐振区面积值以及串并联FBAR的谐振区面积比值为两类优化参数。以给定的滤波器插入损耗与带外抑制为优化目标,使用ADS软件中基于梯度的优化算法得到各参数的优化值。根据优化结果可以简单地计算得到滤波器中各FBAR单元的谐振区面积。以一个工作在LTE band 7的BAW双工器为设计案例展示了该方法的应用流程。设计结果的仿真验证表明:Tx滤波器的插损小于2dB、在Rx滤波器通带内的抑制大于40dB;Rx滤波器的插损小于1.9dB、在Tx滤波器通带内的抑制大于40dB;满足BAW双工器中Tx与Rx滤波器的性能指标。由此验证了该方法的可行性和易用性。