短波CMT红外光导探测器延伸电极的改进
The Shortwave Band CMT Infrared Photoconductive Detector Outstretched Electrode作者机构：昆明物理研究所云南昆明650223
出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)
年 卷 期：2009年第31卷第2期
页 面：84-86,94页
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
主 题：功函数 Cr/Au电极 In/Au+Cr/Au电极 Ti/Au电极
摘 要：针对短波CMT红外光导探测器出现的拖尾问题,找到其拖尾的原因:过渡电极的功函数过大。为此,在原来Cr/Au电极的基础上,提出了In/Au+Cr/Au电极初步解决了拖尾问题,但是在工艺上出现了In聚球现象,影响器件的稳定性。又提出Ti/Au电极,比较好的解决了拖尾问题和In/Au+Cr/Au电极带来的工艺问题。
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