微位移电容传感电路的噪声分析与实验研究
Experimental Study and Analysis on Noise of Mini-Displacement Capacitance Sensor Circuit作者机构：哈尔滨工程大学理学院哈尔滨150001
出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期：2008年第21卷第10期
页 面：1713-1716页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：扭杆弹簧倾斜仪是一种结构简单的小型化倾斜仪,可监测地面微小倾斜,广泛应用于工程实践、地球物理和科学实验等诸多领域。本文描述了扭杆弹簧倾斜仪中电容传感电路的原理与构造,理论分析了电容传感电路的热噪声,对电容传感电路的噪声和慢漂特性进行了实验研究。实验结果表明电容传感电路的噪声水平约为0.6mV,折算位移测量的分辨率优于10-10m量级。
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