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基于机器视觉技术的高精度光学仪器表面动态变形测量研究

Research on high precision optical instrument surface dynamic deformation measurement based on machine vision technology

作     者:张燕 史汝川 ZHANG Yan;SHI Ruchuan

作者机构:南阳理工学院信息工程学院河南南阳473004 上海交通大学感知科学与工程学院上海200240 

出 版 物:《激光杂志》 (Laser Journal)

年 卷 期:2024年第45卷第7期

页      面:271-275页

学科分类:080904[工学-电磁场与微波技术] 0810[工学-信息与通信工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 081001[工学-通信与信息系统] 

基  金:河南省科技攻关项目(No.22102210206) 

主  题:动态变形 高精度光学仪器 变形测量 机器视觉技术 仪器表面 表面图像 

摘      要:伴随着光学仪器精度的逐渐提高,其表面动态变形事件发生频率也呈现急剧增加的趋势,是影响与制约光学仪器发展与应用的主要因素之一。为了满足光学仪器的应用需求,提出基于机器视觉技术的高精度光学仪器表面动态变形测量方法。采用机器视觉设备获取高精度光学仪器表面图像,对表面图像进行灰度化处理、去噪处理与增强处理,以此为基础,应用SURF特征检测算法提取表面图像的特征点,通过FLANN算法匹配相邻图像的特征点,利用Delaunay三角化在表面图像区域形成三角网格,进一步计算表面图像特征点的位移与应变,从而实现高精度光学仪器表面动态变形的测量。实验数据显示:在横坐标为1μm时,应用提出方法获得的表面动态变形位移纵坐标为1.8μm,与实际位移基本保持一致,在实验组别为6时,应用提出方法获得的光学仪器表面动态变形应变数值为3μm,与实际应变数值保持一致,充分证实了提出方法具备较好的应用性能。

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