空间整形飞秒激光高效制备纳米光栅

作     者：赵昶栋 刘永刚 魏文卿 张航 邓琥 刘泉澄 胡建波 尚丽平 李占锋 Zhao Changdong;Liu Yonggang;Wei Wenqing;Zhang Hang;Deng Hu;Liu Quancheng;Hu Jianbo;Shang Liping;Li Zhanfeng

作者机构：西南科技大学制造科学与工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理重点实验室四川绵阳621900 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 西南科技大学四川天府新区创新研究院成都610299 西南科技大学环境友好能源材料国家重点实验室四川绵阳621010 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2024年第36卷第8期

页      面：1-8页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(11872058) 中物院创新发展基金项目(CX20210025) 

主　　题：飞秒激光直写 空间整形 纳米光栅 纵横比 

摘      要：针对常规物镜聚焦飞秒激光光斑较小,难以单次直写加工成型大面积纳米光栅结构的问题,提出了利用空间狭缝整形的飞秒激光脉冲直写方法。通过开展单晶硅表面纳米光栅结构对加工系统的参数依赖关系研究,获得入射整形飞秒激光能量密度8.00μJ/cm^(2)、扫描速度9 mm/s、狭缝宽度0.40 mm的优化条件。采用SEM、AFM等手段对光栅进行微观表征,结果表明,单次扫描所制备的纳米光栅结构具有极高的宽度(41.20μm),说明提出的方法可以显著提升一次成型大面积纳米光栅结构的制备效率。