Kevex SIGMA^(TM)能谱仪图像功能的实现
Realization of image function of Kevex SIGMATM energy dispersive spectrometer作者机构：中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室安徽合肥230031
出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)
年 卷 期：2005年第24卷第4期
页 面：387-387页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：能谱仪 图像功能 图像处理功能 扫描电镜 微区分析 M系列
摘 要：我们在原有的AMRAY-1000B型扫描电镜的基础上,通过改造,使它与美国Kevex公司生产的SIGMATM系列能谱仪有机地结合在一起,成为微区分析和图像处理的强有利工具.本文着重介绍其图像处理功能.
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