微克飞行器MEMS气动控制微系统

作     者：栗文凯 石云波 赵锐 马昊天 闫晓朋 LI Wenkai;SHI Yunbo;ZHAO Rui;MA Haotian;YAN Xiaopeng

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 山西北方机械制造有限责任公司山西太原030000 

出 版 物：《探测与控制学报》 (Journal of Detection & Control)

年 卷 期：2024年第46卷第3期

页      面：60-65页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：山西省基础研究计划面上项目(202103021224206) 

主　　题：微克飞行器 控制系统 蠕动电极 控制面 姿态角 

摘      要：针对微克飞行器对毫米级的控制系统的需求,借助MEMS技术,提出一种微型化的气动控制系统。借助蠕动电极可累积作用效果的特点,使控制系统在力与体积之间达到良好的平衡,达到在小体积内获得高驱动力的目标,通过理论分析和尺寸优化完成结构的设计,并进行有限元仿真分析。仿真结果表示,最终设计的微系统面积为22 mm×12 mm,可以产生433 mN的驱动力,可使控制面实现偏转角在12°范围内的角度调控。