基于基因荧光检测的长波通滤光片研制

作     者：林亦心 董新康 杨宁 辛亚武 祝晗 彭永超 熊仕富 LIN Yixin;DONG Xinkang;YANG Ning;XIN Yawu;ZHU Han;PENG Yongchao;XIONG Shifu

作者机构：天津理工大学功能晶体研究院天津市功能晶体材料重点实验室天津 

出 版 物：《光电技术应用》 (Electro-Optic Technology Application)

年 卷 期：2024年第39卷第3期

页      面：36-41页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：光学薄膜 长波通滤光片 膜堆周期 离子辅助沉积 

摘      要：光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心λ_(0)=520 nm的高反射,透射带λ为530~750 nm的高透射长波通滤光片。通过分析膜层敏感度和电场分布,设置合理的晶控方案,调整工艺参数,避免监控高敏感膜层时石英晶控灵敏度下降,解决光谱透过率降低的问题。研制的滤光片在520 nm处反射率为99.77%,在530~750 nm波段平均透过率为98.58%,可满足应用需求。