基于不同色散模型的TiO_(2)薄膜的椭偏光谱分析

作     者：王梦茹 管悦 杨至营 孙晓娟 韩培高 WANG Mengru;GUAN Yue;YANG Junying;SUN Xiaojuan;HAN Peigao

作者机构：曲阜师范大学物理工程学院山东曲阜273165 中国石油大学(华东)地球科学与技术学院山东青岛266580 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2024年第35卷第8期

页      面：822-827页

学科分类：07[理学] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 

基　　金：国家自然科学基金(11104160)资助项目 

主　　题：光谱学 光学常数 椭偏光谱 色散模型 

摘      要：为了研究不同色散模型对含孔隙TiO_(2)薄膜的椭偏光谱分析的影响,分别采用5种色散模型对溶胶-凝胶法制备的TiO_(2)薄膜在1.55—4 eV波长范围内的椭偏光谱进行拟合分析,并利用斜反射谱对各模型的拟合结果进行验证。结果表明:不同色散模型的选择对薄膜厚度和孔隙率的拟合结果均有影响,折射率色散的拟合结果受色散模型影响明显,New-Amorphous、Tauc-Lorentz、Adachi-New Forouhi模型均适用于溶胶-凝胶法TiO_(2)薄膜在整个测试波段上的椭偏光谱拟合,而Cauchy Absorbent、Sellmeier Absorbent模型无法在整个测试波段得到较好的椭偏光谱拟合,适用波段较窄。该研究结果为含孔隙的溶胶-凝胶TiO_(2)薄膜的椭偏光谱分析提供了色散模型选择参考。