面向Chiplet集成的三维互连硅桥技术
3D Interconnect Silicon Bridge Technology for Chiplet Integration作者机构:北京工业大学数学统计学与力学学院 厦门大学电子科学与技术学院 厦门云天半导体科技有限公司
出 版 物:《电子与封装》 (Electronics & Packaging)
年 卷 期:2024年第24卷第6期
页 面:7-17+6页
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
摘 要:摩尔定律的发展速度放缓和集成电路产品应用的多元化趋势,共同推动了先进封装技术的快速发展。先进互连技术是先进封装的核心,在高速、高频传输、功耗、超细节距互连以及系统集成能力等方面均展现出显著优势。硅桥技术作为Chiplet以及异构集成封装的重要解决方案,可以以较低的成本实现多芯片间的局部高密度互连,在处理器、存储器、射频器件中被广泛应用。介绍了业界主流的硅桥技术,并对硅桥技术的结构特点和关键技术进行了分析和总结。深入讨论了硅桥技术的发展趋势及挑战,为相关领域的进一步发展提供参考。