微球辅助干涉术抬起模式下微球相位传输分析

作     者：洪羽剑 付晓锋 胡晓东 HONG Yujian;FU Xiaofeng;HU Xiaodong

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室天津300072 

出 版 物：《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 (测试科学与仪器（英文版）)

年 卷 期：2024年第15卷第2期

页      面：149-156页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：supported by National Natural Science Foundation of China (No.52275540) 

主　　题：微球辅助显微术 微球辅助干涉术 相位传输 抬起模式 光学仿真 

摘      要：微球辅助显微术是一项提升光学显微系统横向分辨力的技术,可与传统干涉技术结合以实现高横向分辨力的三维形貌测量。微球可工作于抬起模式下,进行感兴趣区域的选取与视场扩展。现有研究对微球辅助干涉术中微球工作在抬起模式时的分析仍不充分,影响了微球辅助干涉技术的纵向测量精度。本文对微球的相位传输机制进行了仿真,总结了微球下方相位分布与微球和样品距离之间的关系。同时,搭建了微球-白光干涉联用系统,并通过AFM控制微球的三维位置,对微球抬起模式下的放大倍数与相位分布进行测量,验证了仿真中微球下方相位分布的结果,为微球辅助干涉术中抬起模式提供了理论基础。