氟化钠吸附和解吸氟化氢工艺响应面优化

作     者：李權 丁勇 罗艳 高超 吴俊 李晓杰 王真文 刘彦岑 陈文秀 李金泽 LI Quan;DING Yong;LUO Yan;GAO Chao;WU Jun;LI Xiaojie;WANG Zhenwen;LIU Yancen;CHEN Wenxiu;LI Jinze

作者机构：四川红华实业有限公司四川乐山614200 

出 版 物：《化学工程》 (Chemical Engineering(China))

年 卷 期：2024年第52卷第6期

页      面：33-39页

学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 

基　　金：中国核工业集团有限公司“青年英才”项目 

主　　题：氟化钠 氟化氢 响应面法 吸附与解吸 工艺优化 

摘      要：NaF是一种具有高选择性、高吸附容量的HF吸附剂,被广泛应用于F-Gas(含氟电子气体)纯化工艺中。以温度、压力、流量作为研究因素,采用响应面法中BBD(Box-Behnken设计)对NaF吸附和解吸HF分别进行工艺参数优化研究。建立影响HF吸附量和解吸量的数学模型,并详细探究影响HF吸附和解吸工艺因素的显著性,以及因素交互作用对HF吸附和解吸的影响规律。结果表明:影响HF吸附和解吸的主要因素分别为流量和温度,当吸附温度为59℃,吸附压力为0.4 MPa,气体流量为345 mL/min时,HF吸附量最大达到512 mg/g;当解吸温度为348℃,解吸压力为0.23 MPa,气体流量为400 mL/min时,HF解吸量最大为478 mg/g。为含氟电子气体纯化工艺的参数优化提供重要参考。