真空热处理对不锈钢表面TiN薄膜结构及性能的影响

作     者：卢琳琳 刘晨曦 曹航玮 徐洁 刘禹松 范重庆 LU Linlin;LIU Chenxi;CAO Hangwei;XU Jie;LIU Yusong;FAN Chongqing

作者机构：西安工程大学材料工程学院陕西西安710048 

出 版 物：《西安工程大学学报》 (Journal of Xi’an Polytechnic University)

年 卷 期：2024年第38卷第3期

页      面：32-38页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：陕西省自然科学基础研究计划项目(2023-JC-YB-471 2023-JC-YB-476) 

主　　题：真空热处理 TiN薄膜 不锈钢 残余应力 结合强度 耐腐蚀性 

摘      要：为提高不锈钢材料在海洋环境中的耐腐蚀能力,采用磁控溅射技术在304不锈钢表面沉积TiN薄膜,并在不同温度下对其进行真空热处理,研究热处理温度对TiN薄膜结构及性能的影响。结果表明:适当的真空热处理可提高304不锈钢表面TiN薄膜的结晶度及致密性,缓解其残余应力。与未处理薄膜相比,500℃真空热处理后薄膜内部应力可降低87%,与基底的结合强度提高78%,其腐蚀电流密度由2.42×10^(-6)A/cm^(2)降低到4.43×10^(-7)A/cm^(2),腐蚀电位由-0.247 V提高到-0.044 V,耐腐蚀性能明显提升。