基于图像预处理的光学元件表面粗糙度测量系统
Surface roughness measurement system for optical components based on image preprocessing作者机构：沧州师范学院河北沧州061001
出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)
年 卷 期：2024年第45卷第5期
页 面：252-256页
学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 08[工学] 081001[工学-通信与信息系统]
基 金：河北省“三三三人才工程”资助项目(No.A202001101)
主 题：图像预见处理技术 压电陶瓷晶体 半导体激光器 光学元件 表面粗糙度测量
摘 要：在测量光学元件表面粗糙度时,测量结果往往比较片面,为此设计基于图像预处理技术的光学元件表面粗糙度测量系统。获取原始元件表面粗糙度干涉图像,通过对表面形貌图像实施图像去噪处理与倾斜校正处理获取滤波结果,通过自适应中值滤波算法实施图像的去噪处理。在粗糙度参数评定模块中,根据取样长度对评定长度下定义,实施光学元件表面粗糙度的全面评定。利用设计系统测量三种光学元件的表面粗糙度。实验结果表明:通过设计系统能够获取高成像质量的表面粗糙度干涉图像,实现多种元件表面粗糙度的全面测量,具有一定应用价值。
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