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短沟道负电容GAAFET的物理解析模型的理论推导

Theoretical derivation of the physical analytical model of short-channel negative capacitance gate-all-around field effect transistor

作     者:白刚 陈成 BAI Gang;CHEN Cheng

作者机构:南京邮电大学集成电路科学与工程学院江苏南京210023 

出 版 物:《大学物理》 (College Physics)

年 卷 期:2024年第43卷第4期

页      面:36-39,55页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 

基  金:国家自然科学基金(51602159) 南京邮电大学校级自然科学基金(NY222128)资助 

主  题:负电容 围栅场效应晶体管 短沟道 铁电 

摘      要:围栅场效应晶体管的EDA设计软件是我国芯片产业“卡脖子的关键技术之一,已经受到科学界与产业界的高度重视.本文首先通过合理近似推导出传统短沟道GAAFE的物理解析模型,然后在此基础上通过增加铁电层推导出负电容GAAFET的物理解析模型.该物理模型的理论推导有助于加深学生对GAAFET工作原理的理解,激发学生的学习兴趣,提高学生的研究能力.

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