调整彩色滤光膜的致密性和疏水性以减少TFT-LCD制造中的气体释放
Adjusting the compactness and hydrophobicity of color filters to decrease gas release during TFT-LCD fabrication作者机构:北京大学材料科学与工程学院北京100871 北京大学深圳研究生院新材料学院深圳518055 深圳北理莫斯科大学材料科学系深圳518172 TCL华星光电技术有限公司深圳518132
出 版 物:《中国光学(中英文)》 (Chinese Optics)
年 卷 期:2024年第17卷第3期
页 面:704-713页
核心收录:
学科分类:0810[工学-信息与通信工程] 081203[工学-计算机应用技术] 08[工学] 0835[工学-软件工程] 0812[工学-计算机科学与技术(可授工学、理学学位)]
基 金:国家自然科学基金(No.62205058) 广东省基础与应用基础研究项目(No.2021A1515110085) 深圳市技术攻关项目(No.JSGG20220831103402005)
摘 要:TFT-LCD产业正朝着高效率、低成本的方向发展。在TFT-LCD制造过程中,发现不同的光刻胶需要不同的真空干燥时间。为了减少制造时间,提高面板成品率,有必要明确影响真空时间的因素。本文探讨了抽运时间与光刻胶材料性能的关系。发现光刻胶的热稳定性与抽运时间的关系可以忽略不计。光刻胶的致密性和疏水性与真空干燥时间密切相关。致密性和高疏水性可以有效避免水蒸气在制造过程中侵入和储存在光刻胶中,减少泵送次数。总的来说,这项工作可以为未来TFT-LCD工业新型光刻胶的开发提供一定的参考。