大抽速氙气泵优化设计研究
Study on optimal design of xenon air pump with high pumping speed作者机构：安徽万瑞冷电科技有限公司合肥230043 中国电子科技集团第十六研究所合肥230088
出 版 物：《低温与超导》 (Cryogenics and Superconductivity)
年 卷 期：2024年第52卷第5期
页 面：95-100页
学科分类：08[工学]
基 金：国家科技重大专项项目(2014ZX02001-003)资助
摘 要：介绍了500 mm口径大抽速氙气泵的抽气原理、结构、一级冷板优化设计和抽速测试。通过氙气和氮气抽气速率测试对比,该款大抽速氙气泵的氙气抽速与氮气抽速相近,实际抽速高达10 500 L/s,抽氙速率提高了1倍以上。大抽速氙气泵除了具有较优的抽氙性能,同时具备常规低温泵所有性能。该泵可一泵多用,为客户节约了采购和安装成本。
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