Spindt阴极研究进展和面临的问题

作     者：韩攀阳 姜琪 冯进军 李兴辉 蔡军 HAN Panyang;JIANG Qi;FENG Jinjun;LI Xinghui;CAI Jun

作者机构：北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家级重点实验室北京100015 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2024年第44卷第9期

页      面：768-778页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：北京真空电子技术研究所稳定支持项目 

主　　题：Spindt 阴极 微纳加工技术 真空电子器件 

摘      要：基于先进的微纳加工技术制备的Spindt阴极相比于热阴极具有可以瞬时启动、工作电压低、可在常温下工作等优势。尽管Spindt阴极性能优越,但很难实现真正的实用化,归根结底在于Spindt阴极的低可靠性。近几十年来,国内外研究者致力于从结构、材料以及工艺技术方面提高Spindt阴极的场发射特性以及耐用性,除了不断提高Spindt阴极的性能以满足高功率和高频率真空电子器件的需求,也在寻找和探索其它小电流、低能量、高可靠性的应用新领域,以更好地发挥Spindt阴极的优势。文章对Spindt阴极的最新研究进展进行了综述。