超薄非晶氧化物半导体薄膜的制备及光学带隙调控综合实验设计

作     者：许磊 张新楠 梁茹钰 胡梦真 宋增才 罗世钧 XU Lei;ZHANG Xinnan;LIANG Ruyu;HU Mengzhen;SONG Zengcai;LUO Shijun

作者机构：华北水利水电大学电子工程学院郑州450046 

出 版 物：《实验科学与技术》 (Experiment Science and Technology)

年 卷 期：2024年第22卷第2期

页      面：41-46页

学科分类：0401[教育学-教育学] 04[教育学] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 040102[教育学-课程与教学论] 

基　　金：国家自然科学基金(11574083,61904054) 教育部产学合作协同育人项目(202102575009,220904090161130) 河南省高等教育教学改革研究与实践重点项目(2021SJGLX165) 华北水利水电大学教育教学改革研究与实践项目(2021070) 

主　　题：光学带隙 铟锡氧化物薄膜 磁控溅射 实验设计 

摘      要：为提升学生创新素养,通过将科研内容融入实验教学,设计了超薄非晶氧化物半导体薄膜的制备及光学带隙调控实验。采用磁控溅射的方法在石英衬底上制备非晶铟锡氧化物半导体薄膜,通过材料表征研究厚度对薄膜晶体结构、表面形貌和光学特性的影响。实验结果表明,薄膜厚度影响成膜的表面粗糙度,同时薄膜的光学带隙随膜厚增加而减小。该创新实验涵盖了材料制备、表征及机理分析,涉及半导体、材料学、光电子等多个学科领域,且结合实际科研内容,提高了学生的科研积极性,有助于培养学生创新思维,提高理论与实践相结合的能力。