基于4.0~4.8μm红外增透截止滤光片的研制
Preparation of Cut-off Filter of Infrared Penetration Based on 4.0~4.8μm作者机构:陕西华星电子集团有限公司陕西咸阳
出 版 物:《光电技术应用》 (Electro-Optic Technology Application)
年 卷 期:2024年第39卷第2期
页 面:21-26页
学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
主 题:红外增透 干涉滤光片 截止滤光片 耐温度冲击 膜系设计与工艺
摘 要:详细阐明了干涉滤光片中截止滤光片膜系的设计理论、设计步骤和相关重要公式,并从实际应用出发,阐述了4.0~4.8μm红外增透截止滤光片的设计过程。通过现代膜系设计软件优化提升了膜层性能,最终制备出了达到设计指标要求的滤光片。外增透截止滤光片在截止带1.6~3.5μm平均透过率≤3.5%,透射带4.0~4.8μm平均透过率≥90%,滤光片膜层能耐受从-190℃~60℃温度冲击,显示了设计的准确性和制备工艺的可行性。