电真空器件隙缝腔零件微细加工技术工艺研究
Research on Micro-machining Technology of Crevice Cavity Parts for Vacuum Electronic Devices作者机构：中国电子科技集团公司第十二研究所北京100015
出 版 物：《真空电子技术》 (Vacuum Electronics)
年 卷 期：2024年第2期
页 面：102-105页
学科分类：08[工学] 0835[工学-软件工程] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：针对G波段分布作用速调管中关键零件隙缝腔零件的高精度设计要求开展微细加工技术研究。基于现有加工经验及加工设备条件,通过创新性的工艺设计、结合大量工艺试验探索,突破了微小尺寸、超高精度零件的精密加工技术,满足了毫米波及太赫兹电真空器件中关键零部件的制造需求,提升了高频段电真空器件制造技术水平。
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