扫描电镜中透射-反射式STEM明场成像装置的研制及应用

作     者：赵学平 侯小虎 刘飞 梁绍波 崔晓明 白朴存 ZHAO Xueping;HOU Xiaohu;LIU Fei;LIANG Shaobo;CUI Xiaoming;BAI Pucun

作者机构：内蒙古工业大学测试中心内蒙古呼和浩特010051 内蒙古工业大学材料科学与工程学院内蒙古呼和浩特010051 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2024年第43卷第2期

页      面：208-214页

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(Nos.62264013,11762014) 内蒙古自治区直属高校基本科研业务费项目(Nos.JY20220171,JY20220144,JY20220184) 

主　　题：扫描电镜 扫描透射电子显微镜 明场像 成像装置 图像衬度 

摘      要：本文研制了一套透射-反射式扫描透射(STEM)明场成像装置,该装置使用背散射电子探头接收经过铂片反射的透射电子信号,可安装在FEI Quanta FEG系列扫描电镜中实现STEM明场成像。分别以埃洛石、Au@ZIF-8纳米颗粒和喷金乳胶标样验证自制STEM明场成像装置的实用性。结果表明:埃洛石STEM明场像的衬度与透射电镜中STEM明场像一致,管腔和管壁具有明显的衬度差异,可以清晰辨识管腔结构;在Au@ZIF-8纳米颗粒的STEM明场像中,Au颗粒衬度较暗,ZIF-8衬度较亮,通过两者之间的衬度差异可以观察到核壳结构;喷金乳胶标样上纳米金颗粒之间可识别的最小距离为2.03 nm,进一步验证了自制STEM明场成像装置具有较高的分辨率。