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二维超大行程快反镜的分段非线性拟合标定

作     者:李晓天 陈青山 王艳林 刘力双 

作者机构:北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 

出 版 物:《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期:2024年

学科分类:08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主  题:光通信 超大行程快速反射镜 分段非线性拟合 系统标定 

摘      要:为了实现集高速扫描与精确指向功能于一体的二维超大行程快反镜的高重复定位精度与分辨率,对±5°的二维超大行程快速反射镜进行二维角度标定技术研究。设计了二维超大行程快速反射镜角度标定系统。对多项式拟合法进行优化得到分段式非线性拟合法,并对标定模型进行了理论分析和实验测试。结果表明,在±5°范围内,传统的多项式拟合法标定误差最高达1.7 mrad,而优化后的分段式非线性拟合法在±5°标定的拟合误差小于 9.6μrad,X、Y轴分辨率分别可达4.6μrad以及5.6μrad,X、Y轴重复定位精度分别在19.4μrad及9.6μrad。这一结果对二维超大行程快反镜的精确控制起到了重要的作用。

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