离子束改善薄膜光学特性研究

作     者：任翼 周亚东 金尚忠 

作者机构：中国计量大学光学与电子科技学院 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2024年

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金(表面等离激元增强效应模型建立及验证研究(22204154)) 

主　　题：离子束辅助镀膜 离子源 结构设计 透射率 折射率 吸收度 

摘      要：本文提出设计了一款具有双腔室结构的加热灯丝型辅助离子源，解决现有灯丝型离子源无法通入氧化性气体作为工作气体或灯丝工作时间较短的问题，使得该离子源可以用于氧化物薄膜的辅助制备，兼具活化源的部分功能。随后设计了相关的实验验证本文提出的辅助离子源的有效性。本文选取光通信领域常见的两种氧化物薄膜Ta2O5和SiO2作为沉积的膜层材料，通过改变离子源的电流、电压、偏压、工作气体流量等参数，并利用分光光度法测量所沉积的薄膜的透射率、折射率、吸收度，研究不同参数对薄膜的光学特性的影响。最终根据实验的数据可以证明本文设计的离子源的有效性，其可以对沉积薄膜的质量进行改善。