柔性电子制造领域的超快激光技术:机制、特征功用及挑战(特邀)

作     者：季凌飞 孙伟高 林真源 周博昊 程维 温亚楠 王冠强 Ji Lingfei;Sun Weigao;Lin Zhenyuan;Zhou Bohao;Cheng Wei;Wen Yanan;Wang Guanqiang

作者机构：北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院北京100124 北京工业大学跨尺度激光成型制造技术教育部重点实验室北京100124 北京市激光应用技术工程技术研究中心北京100124 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2024年第61卷第1期

页      面：207-222页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(51975017) 北京市教委重点科研项目(KZ202110005012) 北京市自然科学基金-海淀联合基金重点(L222011) 国家重点研发计划(2018YFB1107500) 

主　　题：超快激光 柔性电子 微纳加工 

摘      要：随着智能化时代的到来,柔性电子由于其极强的共形能力和优异的器件性能,在进一步推动现代化产业发展中取得越来越重要的地位。超快激光技术以其优异的高精制造能力在柔性电子高分辨无损制备上展示出独特的优势和应用前景。本文从超快激光与物质相互作用基本机制入手,着重介绍了当前超快激光在柔性电子领域的四种典型特征功用及其研究现状,并据此总结该领域超快激光应用所面临的挑战和未来发展趋势。