高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备

作     者：张帅 俞振一 郭瑜 孙宗琴 傅肃磊 许志斌 王为标 ZHANG Shuai;YU Zhenyi;GUO Yu;SUN Zongqin;FU Sulei;XU Zhibin;WANG Weibiao

作者机构：江南大学物联网工程学院江苏无锡214122 无锡市好达电子股份有限公司江苏无锡214124 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第2期

页      面：154-158页

学科分类：080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61701195) 

主　　题：横向激发体声波谐振器(XBAR) 品质因数(Q)值 高频 大带宽 5G通信 

摘      要：随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用。该文提出了一种基于ZY切铌酸锂(LiNbO 3)的XBAR谐振器,通过有限元(FEM)仿真对谐振器进行了优化设计,并在微机电系统(MEMS)工艺下对谐振器进行加工。该文所制备的横向激发体声波谐振器A 1模式的谐振频率为4.72 GHz,k 2=26.9%,Q_(3) dB为384,温度频率漂移系数为-60.5×10^(-6)/℃。A_(3)模式的谐振频率为13.5 GHz,k^(2)=4.4%。