人工机械瓣材料上沉积类金刚石膜及耐磨性研究

作     者：叶亮 黄楠 孙鸿 

作者机构：西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室成都610031 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2012年第32卷第11期

页      面：1048-1054页

核心收录：

学科分类：08[工学] 

基　　金：863计划支持项目(2006AA02A139) 

主　　题：机械瓣 Ti6Al4V 类金刚石膜 摩擦磨损 

摘      要：采用磁过滤阴极真空弧源法对低温热解碳瓣叶和瓣环内Ti6Al4V贴片进行了类金刚石膜沉积,并利用模拟摩擦磨损试验检验了薄膜耐磨性,采用X射线光电子能谱检测了薄膜化学键结构。结果表明:利用A3工艺在瓣环内Ti6Al4V贴片上制备了sp3键含量约为66.9%的类金刚石膜,该薄膜在模拟体液中具备较好的耐磨性,同时,缩短每轮镀膜时间降低了薄膜沉积温度,有利于增加薄膜sp3键含量,提高耐磨性;利用B工艺在瓣叶边缘上沉积了sp3键含量约为67.9%的类金刚石膜,该薄膜与A3工艺镀膜后的瓣环内Ti6Al4V贴片配合进行了模拟摩擦磨损试验,体现出较好的耐磨性。